诸位看吾之论谈，不要看了后面忘记前面

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仝天
lll1717iii@yahoo.com

大陆准备在今年至少生产五台DUV光刻机，可是，诸位忘记了怎么调试，调试光刻机，要选好地基，地基材质要均匀，最好选择同一材质地基，不要一部分是土，一部分是石，一部分是钢铁等等，这会影响重力与光刻机射出来的激光平行问题。

大家都知道万有引力，地球引力，土石和钢铁的万有引力是不一样的，引力稍微偏移，就导致激光偏移，正所谓差之毫厘谬以千里，毕竟光刻的激光光子是纳米级别的而且光子又太轻了，如果引力不均衡就会将光刻的激光光子吸偏，影响光刻质量，至于在光刻厂房做出无尘空间，大家都知道，唯独不知道万有引力和地球引力能够影响光子的平行问题，光刻激光稍微偏移就会影响光刻质量。

在物理试验室做激光试验，大家都是水平测试激光，以肉眼来观察，似乎光线直了，因为水平发射激光，引力与激光呈"十"字形交叉，可是物理试验使用的激光是比不上光刻的激光的，光刻所使用的激光波长更小更直。

激光在玻璃内会发热，为何?，是因为同一束激光内，并不是所有激光束都是同一波长，光刻的激光波长仍然存在各种纳米波，只要有波，就会与玻璃内的离子发生碰撞从而发热，诸位为了解决这个问题，使用水或真空或添加物。

实际情况是，激光越正直，与玻璃内的离子碰撞次数越少，产生的热能越低，诸位看看太空，光在太空的热量要比地面更低，就是因为高空的空气离子或分子没有地面多或杂乱，光穿过太空抵达地面之前的太空并不热，可是，越到地面，太阳光越热，而地球在旋转，太阳光与地球表面的引力不平行，从而碰撞交织而产生热量，再者太阳光与地面的空气发生碰撞亦产生热能。

大家都知道，太阳光通过窗户玻璃射入室内，室外，室内，和玻璃的温度是不一样的，而玻璃的温度更高，为何?，因为太阳光射入玻璃，与玻璃材质粒子发生碰撞的次数更多，产生的热量更多。

同样是玻璃，若玻璃材质匀称，光射入玻璃所产生的温度偏低，若玻璃粗制滥造，光射入玻璃所产生的温度偏高。

也就是说，光越正直，越平行，与其他离子碰撞所接触的面积越小，不象激光内的大波，大面积与周围的粒子发生碰撞，自然而然所产生的热能越高，如果光波没有波长，大家都朝同一个方向以相同速度运行，自然碰撞的几率低，产生的热量低。

DUV和EUV大家测试出来到光源波长，并不是纯单一波长，在这些深紫外线和极紫外线内的波长有一定的波粒范围，诸位测试出来的纳米波长仅仅是一个近似值，正是因为如此，大家才想方设法地调整光刻激光光波所产生的温度。